多晶高效PERCT电池工艺研究

来源 :煤 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mylook1028

【摘要】

：

文章主要对高效PERRCT电池关键工序进行研究,针对每个工序的重要工艺点进行分析,找出合理的效率提升方向,经过反复测试验证,确定了最优的工艺参数,效率综合提升了0.2%。

【作者】

：

杨飞飞郭卫赵科巍张波苗杰

【机构】

：

潞安太阳能科技有限责任公司

【出处】

：

煤

【发表日期】

：

2019年10期

【关键词】

：

PERCT 氮化硅激光刻槽 BSG PERCTsilicon nitridelaser etchingBSG

【基金项目】

：

山西省重点研发计划重点项目(201703D111008),山西省重点研发计划(指南)项目(201803D421097).

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