GaP低阻欧姆接触层的AES和SIMS分析

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：YANCONG1103

【摘要】

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本文用AES和SIMS分析讨论了p-GaP与三层金属膜Pd/Zn/Pd形成良好欧姆接触层的性质. In this paper, we discuss the properties of p-GaP and the three-layer metal film Pd

【作者】

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张福甲李宝军卓肇龙

【机构】

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兰州大学物理系,兰州大学物理系,兰州大学物理系兰州 730000,兰州 730000,兰州 730000

【出处】

：

发光学报

【发表日期】

：

1993年03期

【关键词】

：

欧姆接触 SIMS GaP AES 俄歇能谱二次离子质谱金属膜低阻化合物半导体百分浓度

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本文用AES和SIMS分析讨论了p-GaP与三层金属膜Pd/Zn/Pd形成良好欧姆接触层的性质. In this paper, we discuss the properties of p-GaP and the three-layer metal film Pd / Zn / Pd forming a good ohmic contact layer by AES and SIMS analysis.

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