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采用溶胶-凝胶法（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了BaZr0.75O3,（简称BZT）薄膜。对其先体溶液进行了差热与热失重曲线（TG—DTA）分析，并以此来确定了薄膜的热处理工艺。X射线衍射分析表明，650℃时已经基本形成了钙钛矿结构，结合原子力显微图确定薄膜的热处理温度为750℃。