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日本科学家Tadashi Komagata开发出带电粒子束光刻系统，并已申请专利。此系统通过电子束或离子束用于掩模版或硅晶圆的直写光刻。
日本科学家开发出新型带电粒子束光刻系统
【摘 要】
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日本科学家Tadashi Komagata开发出带电粒子束光刻系统，并已申请专利。此系统通过电子束或离子束用于掩模版或硅晶圆的直写光刻。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年9期
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