一种便携式TiO2薄膜乙醇气敏传感器的研制

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ustbyjp

【摘要】

：

研制了一种适合于乙醇检测的新型TiO2基薄膜气敏传感器.敏感材料是采用直流磁控反应溅射法制备在Al2O3陶瓷管上的TiO2薄膜,薄膜经过退火处理(500℃、3 h)后,得到对乙醇蒸汽具有很好选择性和灵敏度的锐钛矿相TiO2,其最佳工作温度为270℃左右,响应时间2 s,恢复时间3 s.测量电路采用以ARM7为核的LPC2131微控制器实时监测电源电压,自动调整占空比,从而实现对加热温度的精确控制.

【作者】

：

何平赵红东潘国峰

【机构】

：

河北工业大学计算机科学与软件学院,河北工业大学信息工程学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2007年07期

【关键词】

：

气敏传感器 TIO2薄膜电阻测量选择性 gas sensors TiO2 thin films resistance measurement se

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