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从研究STM仪器对振动的敏感性出发,对基于隧道效应的纳米振动传感器的理论、技术及实现方法进行了初步的研究和探索,研制了具有压电陶瓷结构的传感器样机模型,并进行了振动检测试验。结果表明,基于隧道效应的测振传感器具有很高的灵敏度、良好的频率特性和与STM仪器一致的振动响应特性。
基于隧道效应的纳米级振动传感器的研究
【摘 要】
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从研究STM仪器对振动的敏感性出发,对基于隧道效应的纳米振动传感器的理论、技术及实现方法进行了初步的研究和探索,研制了具有压电陶瓷结构的传感器样机模型,并进行了振动检测试验。结果表明,基于隧道效应的测振传感器具有很高的灵敏度、良好的频率特性和与STM仪器一致的振动响应特性。
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2004年06期
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