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采用离子注入法研究了Co离子注入ZnO晶体的光致发光效应。对离子注入后的样品在Ar气保护下进行退火处理，退火温度为700℃，退火时间为10min，在其光致发光谱中观察到了406和370nm的紫光发射峰。对比了Co，Cu离子分别注入的ZnO晶体的光致发光谱，观测到二者的光致发光谱类似。同时，研究了Co离子注入剂量对样品发光性质的影响，结果表明随注入剂量的增加绿色发光中心逐渐向低能边偏移，分析认为绿色发光中心的偏移与离子注入后ZnO晶体的禁带宽度发生改变相关。