微电子-机械系统传感器及其应用

来源 :物探装备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yoyoliuy

【摘要】

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微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或曰微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域.利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到

【作者】

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潘中印张传兆蒋立冬曲学政

【机构】

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西安石油勘探仪器总厂

【出处】

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物探装备

【发表日期】

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2003年4期

【关键词】

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微电子-机械系统传感器地球物理勘探地震勘探噪声 MEMS sensor low noise principle

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微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或曰微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域.利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应.文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项.

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