【摘 要】
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简称XPS,有时也称化学分析用电子能谱(Electron Spectroseopy for Chemical Analysis简称ESCA)。XPS技术是利用X射线直接激发试样表面原子的内壳层电子或价电子,收集并分析
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简称XPS,有时也称化学分析用电子能谱(Electron Spectroseopy for Chemical Analysis简称ESCA)。XPS技术是利用X射线直接激发试样表面原子的内壳层电子或价电子,收集并分析这些光电子能量就能确定其化学成分。此法可作半定量分析,对试样无破坏作用。
Referred to as XPS, also known as chemical analysis of electron spectroscopy (Electron Spectrosecopy for Chemical Analysis referred ESCA). XPS technology uses X-rays to directly excite the inner shell electrons or valence electrons of the sample surface atoms, and the chemical components can be determined by collecting and analyzing these photoelectron energies. This method can be used for semi-quantitative analysis of the sample without damaging effect.
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