CCD抽样过程对傅里叶变换轮廓术测量的影响

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gsy2589

【摘要】

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针对傅里叶变换轮廓术(FTP)测量中的离散过程理论分析存在的不足,讨论了以前被忽略的CCD的取样过程以及CCD像元尺寸对FTP测量的影响,建立了完整的CCD抽样的数学模型,分析了CC

【作者】

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陈文静陈锋苏显渝曹益平张启灿向立群

【机构】

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四川大学光电科学技术系

【出处】

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光电子．激光

【发表日期】

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2005年9期

【关键词】

：

傅里叶变换轮廓术(FTP) 抽样测量精度 Fourier transform proflometry（FTP） sampling measure precis

【基金项目】

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国家自然科学基金，四川省应用基础研究计划

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针对傅里叶变换轮廓术(FTP)测量中的离散过程理论分析存在的不足,讨论了以前被忽略的CCD的取样过程以及CCD像元尺寸对FTP测量的影响,建立了完整的CCD抽样的数学模型,分析了CCD像元的光敏单元尺寸大小对FTP测量的影响,讨论了CCD取样所引起的信号失真和频谱混叠问题,给出了相关的表达式和判断准则,使得基于离散傅里叶变换的FTP分析方法更贴近实际测量.

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