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本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真．这种框架结构可以有效地增大结构静态电容，以便在闭环工作时能产生更大的静电力．它的整体尺寸为2800μm×3000μm×60μm，结构惯性质量为0．14mgn，静态电容为3．618pF，抗过载能力超过5000gn．通过系统仿真，该加速度计的电压灵敏度为90mv／gn，量程为±50gn，系统带宽是10kHz．