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介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形，模拟出标准对准的背散射信号，并与实际实验信号图形进行了对比。
电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用
【摘 要】
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介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形，模拟出标准对准的背散射信号，并与实际实验信号图形进行了对比。
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年3期
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