【摘 要】
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采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品.实验结果表明：沉积层显微组织呈柱晶沿（200）晶面择向生长,具有高纯度（〉99.8%）,高致密度（〉
【机 构】
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北京工业大学材料科学与工程学院功能材料教育部重点实验室
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采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品.实验结果表明：沉积层显微组织呈柱晶沿（200）晶面择向生长,具有高纯度（〉99.8%）,高致密度（〉19.2 g/cm^3）,沉积速度可达2～3 mm/h. 采用化学气相沉积法制备钨制品,设备简单,工艺稳定可靠,且制品质量较高,特别适合于异型制品的制备,是一种具有广泛应用前景的钨制品制备方法.
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