【摘 要】
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用宽禁带半导体n-4H-SiC和金属Au作肖特基接触,Ti、Ni、Ag合金作背底,形成欧姆接触,研制出Au/n-4H-SiC肖特基紫外探测器.文章测试并分析了器件在高压下的紫外光电响应的高增
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用宽禁带半导体n-4H-SiC和金属Au作肖特基接触,Ti、Ni、Ag合金作背底,形成欧姆接触,研制出Au/n-4H-SiC肖特基紫外探测器.文章测试并分析了器件在高压下的紫外光电响应的高增益特性,反压150 V下,增益可达到3.8×104.在高反压下(100 V以上),探测器的光谱响应曲线出现了锐上升和锐截止,在260～380 nm之间,有非常平稳的光谱响应;在高温533 K无偏压下,紫外响应特性仍然保持良好.
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