多晶硅生产中废气的处理措施探讨

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在多晶硅的生产过程中,会消耗大量的能源,而其产生的废气也将会对环境产生很大的影响.因此,需要对多晶硅生产过程中产生的废气进行无害化的处理.本文简单介绍了传统的废气处理方式和改良的西门子生产工艺,然后重点对废气焚烧工艺进行了探讨,分析了废气焚烧工业的用途、副产品、流程、原理和特点.
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