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利用等离子体基离子注入与沉积技术，在氮化硅陶瓷片表面制备200～400nm的类金刚石碳膜。测试薄膜的厚度、表面形貌、结构、膜基结合力，利用球盘试验机考察DLC膜的摩擦性能。结果表明：沉积薄膜均匀光滑；薄膜的硬度和弹性模量与基体差异较小，膜基结合力强；DLC膜具有较低的摩擦因数，抗磨性能优异。
氮化硅陶瓷表面DLC膜的制备及摩擦性能研究
【摘 要】
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利用等离子体基离子注入与沉积技术，在氮化硅陶瓷片表面制备200～400nm的类金刚石碳膜。测试薄膜的厚度、表面形貌、结构、膜基结合力，利用球盘试验机考察DLC膜的摩擦性能。结果
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2010年9期
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