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概述了微观测试技术的内涵及发展趋势，分析了它的特点，作用，地位以及二十一世纪初十年代的要求，展望了该技术未来的发展趋势。
微观测试技术及其发展应用
【摘 要】
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概述了微观测试技术的内涵及发展趋势，分析了它的特点，作用，地位以及二十一世纪初十年代的要求，展望了该技术未来的发展趋势。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年2期
【基金项目】
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国防科工委微米／纳米技术预研资助,863的资助
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