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微磨料水射流加工技术的射流直径在10μm-100μm之间，较常规磨料水射流直径（500μm-1200μm）小一个数量级，在微加工领域仍保持常规磨料水射流的许多的性能，尤其适宜对硬脆材料、复合材料等难加工材料进行微加工。目前其孔加工精度已达到相当于激光微加工技术的水平。为加深对该新技术的最新发展的理解，本文介绍了微磨料水射流加工技术射流生成方式、装置设计的关键技术、主要参数对加工性能的影响及部分应用示例。最后提出了微磨料水射流加工技术中有待深入研究的工作。