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光通信用的硅基长波长光电探测器
光通信用的硅基长波长光电探测器
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meng010
【摘 要】
:
硅基长波长光电探测器是最有希望与微电子集成的一种用于光通信的光电器件。介绍了当前硅基长波长光电探测器的发展现状和趋势,讨论了提高硅基长波长光电探测器性能的途径。
【作 者】
:
李成
杨沁清
王启明
【机 构】
:
中科院半导体所集成光电子学国家重点联合实验室!北京100083
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
硅基光电探测器
SiGe/Si多量子阱
SIGEC
共振腔
Si-based photodetectors
SiGe/Si MQW
SiGeC
reson
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硅基长波长光电探测器是最有希望与微电子集成的一种用于光通信的光电器件。介绍了当前硅基长波长光电探测器的发展现状和趋势,讨论了提高硅基长波长光电探测器性能的途径。
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