压电陶瓷光学移相器的一维标定方法

来源 :光电技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chaoyuemengxiang2009

【摘要】

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利用光干涉原理设计了一套比较简单有效的测量系统，并对压电陶瓷的电压-位移曲线进行测试和分析．研究了PZT移相器的重复性、线性，总结了步进电压从0．2-0．5V、时间间隔从10～90ms驱动

【作者】

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刘欣吕晓旭罗鹏

【机构】

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昆明理工大学激光研究所,华南师范大学信息光电子科技学院

【出处】

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光电技术应用

【发表日期】

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2007年1期

【关键词】

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压电陶瓷移相器干涉一维标定线性 piezoelectric phase-shifter interference one-dimension cali

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利用光干涉原理设计了一套比较简单有效的测量系统，并对压电陶瓷的电压-位移曲线进行测试和分析．研究了PZT移相器的重复性、线性，总结了步进电压从0．2-0．5V、时间间隔从10～90ms驱动参数对PZT位移量和非线性误差影响的规律．标定结果表明，电压在206～222V范围内，当步进电压为0．3V；时间间隔为10ms时，PZT电压-位移曲线与拟合直线的平均标准差可达到2．795nm

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