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在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法，利用纯金属Zn靶，在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜。X射线衍射谱表明氮化锌具有（40O）择优取向，反方铁锰矿结构。研究了溅射功率对氮化锌薄膜结构、电学及光学性质的影响。
溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响
【摘 要】
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在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法，利用纯金属Zn靶，在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜。X射线衍射谱表明氮化锌具有（40O）择优取向，反方铁锰矿结构。研究了溅射功率对氮化锌薄
【机 构】
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山东大学威海空间科学与物理学院,威海蓝星玻璃股份有限公司,威海中玻光电有限公司
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2013年3期
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