四氯化硅氢还原法亚微米薄层硅外延生长

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本文叙述了供4 mm雪崩二极管用的亚微米硅外延膜的制备过程。文中给出了若干结果。 This article describes the fabrication of submicron silicon epitaxial films for 4 mm avalanche diodes. The paper gives a number of results.
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