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分析划片后的晶圆在清洗过程中静电电压严重超标的原因,提出4种改进方案,采用16种晶圆进行了验证。结果表明：清洗过程中关闭清洗机剥离胶膜用反冲气,操作人员佩戴防静电腕带,在取出晶圆过程中采用手持式可移动离子风枪对晶圆进行风淋,可解决长期存在的晶圆划片后清洗过程中表面静电电压严重超标的问题。
晶圆清洗过程中静电电压超标原因与改进
【摘 要】
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分析划片后的晶圆在清洗过程中静电电压严重超标的原因,提出4种改进方案,采用16种晶圆进行了验证。结果表明：清洗过程中关闭清洗机剥离胶膜用反冲气,操作人员佩戴防静电腕带,
【机 构】
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天水华天科技有限公司
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2012年4期
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