【摘 要】
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简要回顾了磁性薄膜及其制备,评价技术研究开发的历史。重点介绍近几年开发的高密度磁和磁光记录用连续薄膜介质与新型磁头材料,巨大磁敏电阻人工格,高频微型软磁器件用磁膜,
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简要回顾了磁性薄膜及其制备,评价技术研究开发的历史。重点介绍近几年开发的高密度磁和磁光记录用连续薄膜介质与新型磁头材料,巨大磁敏电阻人工格,高频微型软磁器件用磁膜,MMIC兼容的微波铁氧体膜及永磁膜,和稀释磁性半导体薄膜、人工格的制备工艺、主要性能及其应用。指出薄膜技术给现代科学技术发展带来现实而深远的影响。
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