TFT-LCD彩膜工艺宏观缺陷自动化修补的探究

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目前CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG。每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉。而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高。提出一种可自动修复NG竖线的Mura设备的设想。衡量竖线Mura是否符合标准的Spec参数为膜厚,当基板上的Panel出现膜厚值超过Spec值的竖线Mura,就需要将此Panel判为NG,后续报废掉。新设想的Mura检测机可通过新设计的“探针单元”确定竖线区域膜厚的高低,再利用“竖线处理单元
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