高精高稳高温压力传感器研制项目通过陕西省科技厅鉴定

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我校物理学系万云副教授主持的陕西省科技研究发展(攻关)计划(2001K06-G18)资助项目——高精高稳高温压力传感器研制项目,于2005年5月13日顺利通过陕西省科学技术鉴定。鉴定委员会的7位专家认真听取了该项目的工作报告和技术报告,审查了产品测试报告等相关技术资料,一致认为该成果利用高稳定、耐高温、耐腐蚀氧化铝精细陶瓷等做弹性元件,采用薄膜技术、集成电路平面光刻工艺及超声压技术,
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