【摘 要】
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本文推导了表征多层结构微桥试验挠度-载荷关系的特征参数。通过MEMS（微机电系统）技术制备了包含亚微米厚度NiFe和Cu薄膜的5层和8层微桥,采用XP纳米压痕仪进行微桥试验。基于小
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院教育部薄膜与细微技术重点实验室
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本文推导了表征多层结构微桥试验挠度-载荷关系的特征参数。通过MEMS（微机电系统）技术制备了包含亚微米厚度NiFe和Cu薄膜的5层和8层微桥,采用XP纳米压痕仪进行微桥试验。基于小挠度理论和固支（built-in）边界条件,通过时不同长度微桥挠度-载荷关系曲线的研究,计算了梁弯由刚度和单位宽度残余合力,并提出了一种估算薄膜机械性能的方法。得到NiFe薄膜弹性模量、残余应力分别为201.54GPa和270：75MPa,Cu薄膜为120.15GPa和50.31MPa。
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