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本文推导了表征多层结构微桥试验挠度-载荷关系的特征参数。通过MEMS（微机电系统）技术制备了包含亚微米厚度NiFe和Cu薄膜的5层和8层......
提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹......
