【摘 要】
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1983年毕业于清华大学无线电电子学系 ,获学士学位,1986年在中国科学院电子学研究所获硕士学位,1990年获英国皇家学会RoyalFellowship 赴英国剑桥大学工程系电子工程专业访问
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1983年毕业于清华大学无线电电子学系 ,获学士学位,1986年在中国科学院电子学研究所获硕士学位,1990年获英国皇家学会RoyalFellowship 赴英国剑桥大学工程系电子工程专业访问进修、攻读博士,1994年获博士学位。1995年初回中国科学院电子学研究所工作至今,主要从事传感技术、微机电系统(MEMS)技术等研究。先后主持承担并圆满完成了中科院院长基金、国家自然科学基金、863等十余项研究课题 ,发表论文九十余篇 ,获得中国发明专利三项。目前担任中国科学院电子学研究所研究员、博士生导师 ,并担任国家863计划微机电系统 (MEMS )重大专项总体专家组成员、中国电子学会理事、IEEE电子器件学会北京分部副主席等职
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