MSM光电探测器电磁场特性的TLM方法模拟

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：viery

【摘要】

：

介绍了利用传输线矩阵方法模拟和分析金属-半导体-金属光电探测器指栅电容的频率响应。应用时域电磁场三维TLM方法模拟分析了指栅间距和指栅间的耦合长度与光电探测器截止频

【作者】

：

石世长王庆康

【机构】

：

上海交通大学微电子技术研究所

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2001年1期

【关键词】

：

传输线矩阵方法金属-半导体-金属光电探测器电磁场特性 Algorithms Capacitors Computer simulation Electric

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介绍了利用传输线矩阵方法模拟和分析金属-半导体-金属光电探测器指栅电容的频率响应。应用时域电磁场三维TLM方法模拟分析了指栅间距和指栅间的耦合长度与光电探测器截止频率的关系。文中还报道了本项研究所开发的三维电磁场时域模拟器TLMSimulator2.0及其功能。数值实验结果说明模拟器对微波结构的电磁场模拟是精确、有效的，具有很好的应用价值

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