单振子型多自由度超声波电机研究现状

来源 :微电机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:goodgay3_2004
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根据定子的结构特点以及工作方式,将多自由度超声波电机划分为两个主要类型,即多振子型和单振子型。综述了国内外单振子型多自由度超声波电机的研究现状,重点介绍了这类典型电机的结构、机理、性能、特点及应用;总结了该类电机主要研究成果,并指出今后研究中需要解决的关键技术。
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