CO2激光熔融毛细管端面制备的光纤F-P压力传感器

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luckchenhu

【摘要】

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提出了一种利用CO2激光熔融毛细管端面来制备光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器的方法.F-P结构由普通单模光纤和基于CO2激光熔融毛细管端面制备的硅薄膜组成.文章详细说明了硅

【作者】

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张皓月李红孟凡勇徐滔祝连庆

【机构】

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北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室,北京100192;北京信息科技大学光纤传感与系统北京实验室,北京100192;北京信息科技大学北京市光电测试技术重点实验室,北京100192

【出处】

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半导体光电

【发表日期】

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2021年1期

【关键词】

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光纤F-P CO2激光毛细管端面硅薄膜压力传感器

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提出了一种利用CO2激光熔融毛细管端面来制备光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器的方法.F-P结构由普通单模光纤和基于CO2激光熔融毛细管端面制备的硅薄膜组成.文章详细说明了硅薄膜的制造工艺和熔融参数,并对光纤F-P压力传感器进行了性能测试.实验结果表明:制备的光纤F-P压力传感器对气压具有良好的灵敏度和线性度,灵敏度可达到16.37pm/kPa,线性度为0.998.该光纤F-P压力传感器结构紧凑,易于生产,具有在极端恶劣环境下的应用潜力.

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