【摘 要】
：
快速退火（RTA，rapid thermal annealing）工艺的升温速率高，可以在很短的时间（1 min）内升到PZT薄膜的晶化温度，缩短薄膜的晶化时间，有利于降低升温过程中氧化铅的挥发损失，减少过渡层Ti
【机 构】
：
电子科技大学微电子与固体电子学院,西南民族大学化学与环境保护工程学院
论文部分内容阅读
快速退火（RTA，rapid thermal annealing）工艺的升温速率高，可以在很短的时间（1 min）内升到PZT薄膜的晶化温度，缩短薄膜的晶化时间，有利于降低升温过程中氧化铅的挥发损失，减少过渡层Ti原子的扩散。但是因为热处理时间太短，RTA在控制薄膜残余应力和薄膜的取向生长方面存在着不足。设计分段RTA工艺来控制薄膜生长的结晶取向，采用XRD和SEM对PZT薄膜微观结构进行分析，结果表明：分段RTA工艺能够获得结晶性能和铁电性能良好的（111）择优取向的PZT薄膜，650℃是形核阶段最佳退
其他文献
本文详细研究了剪力图和弯矩图的内在规律,进而提出了绘制剪力图和弯矩图的一种方法。该法简便易学,恢速准确,容易推广。
复方薄荷脑注射液作为一种新型的麻醉药品,它具有长效、高效和低毒的功效。近期,我们采用了160例把腰俞穴麻醉法用于肛肠疾病手术的病例,实践分析的结果令人非常满意。下面将
创新是民族进步的灵魂,创新能力的培养是研究生教育的重要部分。从当前教育技术学硕士研究生创新能力培养的现状出发,结合该专业对硕士研究生创新能力培养的目标要求,对其创
教学团队建设是教育部提出的进一步深化教学改革、全面提高教学质量的措施之一。在"职业教育就是就业教育"的思想指导下,高等职业院校会计教育以培养高素质技能型会计专业技
钨、钼材料的电阻温度系数相对较大,低温段电阻值较小,因此由钨、钼材料做发热体的电阻炉在冷态升温过程中,若不采用合适的控制方法极易产生过大的电流而损坏设备。本文分别
习近平总书记在中央政治局第41次集体学习时明确提出，要加快构建“四大体系”和“三大红线”，推动形成绿色发展方式和生活方式。这是中央政治局首次以“绿色发展”为主题的集体
传统寺庙大殿通常以木结构为主,具有空间高大、门窗缝隙多和宗教装饰要求高等特点。本文采用了一种低风速分层式空调设计方案应用于传统寺庙大殿。通过采用风机盘管隐蔽在佛
基于现代教育技术应用的情景教学受到了越来越多教师的青睐,在教学中被广泛应用、阐述了情景教学的基本概念及优势,分析了情景教学和教育技术在思想上的同一性,并探讨了基于
文章通过煤炭企业全面预算管理实行以成本为核心的管理模式,煤炭企业全面预算管理组织体系的四个层次,煤炭企业全面预算管理的原则、编制、执行与控制、分析与考核以及煤炭企