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利用合成的碱溶性光敏树脂配制成光致抗蚀剂,对固化速率、碱溶性、涂膜表面干燥性、显影和脱膜等进行了研究。结果表明:树脂含量大于70%时,涂膜具有较好的表面干燥性、显影性和脱膜性能;光引发剂含量为5%左右,固化速率较高;50℃超声波下用3%Na2CO3显影2 m in,图象清晰度较高。
碱溶性光敏树脂在光致抗蚀剂中的应用
【摘 要】
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利用合成的碱溶性光敏树脂配制成光致抗蚀剂,对固化速率、碱溶性、涂膜表面干燥性、显影和脱膜等进行了研究。结果表明:树脂含量大于70%时,涂膜具有较好的表面干燥性、显影性
【机 构】
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淮阴师范学院化学系
【出 处】
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涂料工业
【发表日期】
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2007年02期
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