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光学傅里叶分析的测厚应用
光学傅里叶分析的测厚应用
来源 :应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hefner
【摘 要】
:
通过对频率域的傅里叶分析,导出衍射场变换域的经验公式,应用激光检测精细物体的线度.
【作 者】
:
张绪宽
张祖全
柯璇
【机 构】
:
江汉大学物理与信息工程学院
【出 处】
:
应用光学
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
傅里叶变换
衍射场
空间频谱
氦氖激光器
变换域
厚度测量
线度检测
Fourier transform
diffractive field
spatial
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通过对频率域的傅里叶分析,导出衍射场变换域的经验公式,应用激光检测精细物体的线度.
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