MgO衬底NbNAlNNbN多层膜的制备

来源 :第七届全国超导学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dongyemeigui

【摘要】

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本文主要讨论磁控溅射设备制备的NbN/AlN/NbN三层结构的技术工艺,为制备All-NbN的NbN/AlN/NbNSIS隧道结作准备.在室温下利用直流磁控溅射工艺制备了单晶NbN薄膜,并对其超导电

【作者】

：

施建荣康琳蔡卫星陈亚军吉争鸣吴培亨

【机构】

：

南京大学超导电子学实验室,南京,210093

【出处】

：

第七届全国超导学术研讨会

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

氮化铌氮化铝多层膜超导电性射频磁控溅射 SIS隧道结

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本文主要讨论磁控溅射设备制备的NbN/AlN/NbN三层结构的技术工艺,为制备All-NbN的NbN/AlN/NbNSIS隧道结作准备.在室温下利用直流磁控溅射工艺制备了单晶NbN薄膜,并对其超导电性做了初步的研究;又利用射频磁控溅射工艺制备了取向较好的AlN薄膜.利用磁控溅射方法制作NbN/AlN/NbN多层薄膜,然后对制备SIS隧道结进行了一些探索.

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