离子束外延生长半导体性锰硅化合物

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kenxu

【摘要】

：

利用质量分析的低能双离子束外延技术得到了半导体性的锰硅化物 ,Mn2 7Si47和 Mn1 5Si2 6 .俄歇电子谱深度组分测量结果表明 ,在单晶 Si的表面淀积了一薄层厚度约为 37.5 nm

【作者】

：

杨君玲陈诺夫刘志凯杨少延柴春林廖梅勇

【机构】

：

中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室; 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验;

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

半导体性锰硅化物硅单晶质量分析的低能离子束

【基金项目】

：

国家重点基础研究专项经费项目 ( G2 0 0 0 0 6 83);攀登计划( PAN95 -YU -34)资助项目~~

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用质量分析的低能双离子束外延技术得到了半导体性的锰硅化物 ,Mn2 7Si47和 Mn1 5Si2 6 .俄歇电子谱深度组分测量结果表明 ,在单晶 Si的表面淀积了一薄层厚度约为 37.5 nm的 Mn,另一部分 Mn离子成功注入进 Si基底里 ,注入深度为 6 18nm.在 840℃条件下在流动 N2 气氛中对生长样品进行退火 ,X射线衍射结果表明退火后Mn2 7Si47和 Mn1 5Si2 6 结晶更好

其他文献

创新数字金融技术破解中小企业融资难题

当今时代,中小企业已成为支撑并推动国民经济发展的动力之源,因此加强对数字金融技术创新的支持与应用,并建立相应的监管体系,对缓解中小企业面临的融资困境具有重要意义。从

期刊

数字金融中小企业融资约束

怎样理解“加快普及高中阶段教育”中“普及”二字

十七大再次强调“加快普及高中阶段教育”，本文从“普及”的含义，毛入学率与升学率的比较，主张采用目标升学率指标，确定普通高中招生人数，依此划定中考录取分数线，并退步取消择校生

期刊

毛入学率升学率择校生普及高中阶段教育

电商型农村经济模式下经济会计的发展需求分析

针对目前乡村振兴道路上对资金和人才大量需求的现象,提出了电商型农村经济模式下经济会计的发展需求分析。通过介绍农村经济会计在经济会计培养目标、专业技能和工作经验这

期刊

电商型农村经济模式经济会计发展需求农村市场

畜产品质量安全风险分析与应对措施

兽药残留、重金属污染和微生物污染是决定畜产品质量安全的三大要素,直接关系人民的身体健康和生命安全。究其来源,主要有饲料因素、兽药因素、动物疫病因素和养殖环境因素等

期刊

畜产品质量安全应对措施

一类控制系数未知非线性参数化系统的输出反馈实际跟踪控制

研究了一类控制系数未知的非线性参数化系统的输出反馈实际跟踪控制问题。通过引入适当的坐标变换,将原始系统转换成不带有控制系数的新系统。为新系统设计了合理的高增益观

期刊

非线性系统实际跟踪未知控制系数高增益观测器输出反馈

我国农村留守儿童心理问题浅析

近年来,关于农村留守儿童的报道触目惊心,无论他们的人身安全还是心理健康所面临的问题,都让人深思。父母进城务工,是为了给家庭更好的生活,但是留守儿童却在生活方面出现了

期刊

农村留守儿童心理问题优化策略

如何加强企业计算机机房管理与系统维护

信息管理部门的重要的一种工作就是对企业计算机机房系统进行管理和维护,在机房当中对于机房的设备是否安全、稳定、高效运行时保障企业管理信息的基础。所以通过加强对机房

期刊

计算机机房机房的管理和维护提升管理水平

GNRI与NRS2002在糖尿病肾病患者中应用价值的探讨

目的比较老年营养风险指数(GNRI)与营养风险筛查2002(NRS2002)在糖尿病肾病(DKD)患者中的应用价值。方法选取DKD患者218例,采用GNRI及NRS2002分别对其进行营养风险筛查。收集

期刊

GNRINRS2002DKD营养风险筛查肾功能

语文作文教学困境与对策刍论

作文教学是语文教学的重要内容,教师要转变教学方法,切实提高作文课堂教学效率和教学质量。针对语文作文教学困境,文章从作文教学要有详细的教学计划、充分了解学生的作文能

期刊

语文教学作文教学困境教学对策

中深孔爆破技术在井下铁矿开采中的应用研究

钢铁是我国国民经济的支柱性产业，为了服务铁矿井下开采，本文对中深孔爆破技术进行分析。为相关生产工作提供参考。

期刊

铁矿井工开采爆破技术

离子束外延生长半导体性锰硅化合物

与本文相关的学术论文