【摘 要】
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设计了一种新型的硅微聚合酶链式反应（PCR）芯片。该芯片采用掺杂半导体作为加热电阻来提高加热效率,改善反应腔内的温度均匀性。集成在芯片底部的Pt温度传感器与微加热器组成温
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
【基金项目】
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教育部重大科技创新项目培育基金项目“用于脑损伤患者手功能训练的MEMS柔性传感器阵列及其系统集成”(708080)
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设计了一种新型的硅微聚合酶链式反应（PCR）芯片。该芯片采用掺杂半导体作为加热电阻来提高加热效率,改善反应腔内的温度均匀性。集成在芯片底部的Pt温度传感器与微加热器组成温度控制单元,为PCR反应过程提供所需的三种特定温度。此外,为了便于温度校准,设计了敞开式的反应腔,其容积约1.78μL。采用集总参数法计算了芯片在加热和冷却循环过程中的功率和速率,使用ANSYS软件仿真分析了芯片的热力学特性和热循环过程,优化了加热器的设计方法并获得了合适的加热功率。最后设计了芯片版图及一套可行的工艺流程。本芯片具有体积
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