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研究了Mach-Zehnder型极化聚合物电光波导强度调制器的制备工艺．器件采用DANS（4-dimethylamino-4’nitro—stlibene）聚合物为电光波导材料，由电光波导层、上下介质缓冲层、上下金属电极层构成五层波导结构．对五层光波导各层之间的光学、化学以及微加工工艺的相互兼容性进行了深入研究．采用紫外光漂白方法制备出侧壁光滑的奈波导，采用钨丝电晕极化方法对DANS聚合物波导进行有效极化，使其具有电光特性．通过优化器件制备工艺，研制出工作波长为1300nm的M-Z型电光波导强度调制器原型