【摘 要】
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介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量.分析了该器件的工作原理.设计了器件结构,
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介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量.分析了该器件的工作原理.设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机.测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2 g,分辨率达到1 mg,抗冲击能力达到10 000g,具备了良好的性能.
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