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金属氧化物薄膜具有良好的光学，电学特性，因此是卫星表面热控材料防静电积累的重要材料之一。实验研究发现这些金属氧化物薄膜还是具有优良的防原子氧和抗空间辐照环境的能力，而且这种能力与成膜方法及工艺过程直接相关。经模拟原子氧环境的氧等离子体作用后，溅射镀氧化锡样品的质损明显小于蒸镀氧化铟锡薄膜的质损，而氧化铟锡薄膜的质损又小于未镀薄膜试样质损。