基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sodoil

【摘要】

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【作者】

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金敏慧王洁蔡金东吴文渊李以贵

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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微驱动器聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）硅模具热模压工艺切削减薄工艺

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（51035005）;上海市农委重点项目（沪农科创字（2018）第3-3号）

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