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准分子激光光刻的发展状况
准分子激光光刻的发展状况
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:panyufei1989
【摘 要】
:
本文综述了准分子激光光刻的发展,着重讨论准分子激光光刻的优点及其在提高分辨率方面的进展,并讨论了今后的动向。更多还原
【作 者】
:
田文彦
曾传湘
潘大任
周业为
【机 构】
:
四川大学,四川大学成都,成都,成都
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
1992年3期
【关键词】
:
准分子激光
光刻
集成电路
激光
excimer laser
lithography
development
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本文综述了准分子激光光刻的发展,着重讨论准分子激光光刻的优点及其在提高分辨率方面的进展,并讨论了今后的动向。更多还原
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