【摘 要】
：
通过低磨料浓度下催化反应对铜膜抛光速率的影响,证实了纳米SiO2胶体作为催化反应物可以极大地提高铜膜表面的化学反应速率。通过浸泡在不同磨料浓度抛光液中的铜电极表面腐
论文部分内容阅读
通过低磨料浓度下催化反应对铜膜抛光速率的影响,证实了纳米SiO2胶体作为催化反应物可以极大地提高铜膜表面的化学反应速率。通过浸泡在不同磨料浓度抛光液中的铜电极表面腐蚀电位和腐蚀电流数值,进一步证实了催化反应能够加速凹处钝化膜的生成,并确定了在静态腐蚀条件下催化反应速率转换临界点所对应的纳米SiO2溶胶浓度为0.1vol%和1vol%。根据催化反应对铜晶圆各平坦化参数的影响,确定了低磨料CMP的最佳纳米SiO2溶胶浓度为0.3vol%,此时铜晶圆的抛光速率、台阶消除量、平坦化效率、碟形坑高度和腐蚀坑高度分别
其他文献
对地区农科所结构调整的思考窦芳玲（江苏里下河地区农科所扬州２２５００２）全国地区级农科所有６３０个，除了部分地区研究所有畜牧、水产、农机专业研究外，大多数研究所主要承担着发展大田作物农业
优化设计了GaAs／InGaAs／A1As双势垒异质结构，采用台面工艺实现了RTD的器件制备，在3～350K温度范围内对器件的直流特性进行了测试分析。实验结果表明，受热电子发射电流的影响，当测试温
李嘉诚的执着、马云的创新、李想的自信。他们用行动陈述了创业者的百般历程。这个世界陈述了太多的惊奇与梦幻，这些气派的旷世奇才，吞噬了“创业交响曲”。弹奏出爱拼才会赢的
日前，广东省微生物研究所承担的农业科技成果转化资金项目“食用菌产业化关键技术的应用”通过了科技部中国农村技术开发中心组织的验收。
本文从分析网络的规划与计算机维护出发，并结合笔者在网络与计算机管理工作中的经验，全面地介绍了可供管理者借鉴的进行网络规划与计算机维护的常用方法和工具，并给出了一些带有
客户满意度调查是掌握客户需求，提升企业营销服务水平的重要手段。本文通过分析荔湾供电局所作的客户满意度调查结果，对如何提高客户服务水平等问题进行了探讨。
对具有渐变式折射率分布布拉格反射层（GRIN-DBR）的发光二极管进行了研究。研究发现,在传统分布布拉格反射层（C-DBR）的AlAs/Al0.45Ga0.55As的界面处插入5nm厚的折射率渐变层,可以
笔者结合多年来工作实战经验,结合现阶段公路路面常出现的问题,以沥青混凝土为主来进行详细论述。
介绍高校科研成果私自转化现状，并对该现象进行分类。文章从历史、研究人员和学校管理等方面系统分析了高校科研成果“地下流失”现象形成的深层次原因，并在此基础上提出高校如