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为了对大规模、复杂的晶圆制造系统进行有效建模，提出了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统分层建模方法。在设备层，对晶圆制造系统的系统资源、内部行为和知识进行封装，建立了设备层代理模型。在设备组层和系统层，根据系统需求对各设备组内部及其之间的关系进行配置，分别建立了设备层和系统层代理模型。该方法提高了模型的可配置和重用性，降低了建模的复杂性，同时将知识与模型的库所和变迁集成，增强了模型的运行决策能力。通过上海某企业的150mm晶圆的生产数据验证，证明了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆