【摘 要】
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为了实时准确地将激光直写系统中经直写物镜聚焦的光斑定位于待加工元件表面,提出了一种基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法,实现了对离焦量的实时检测与调整。在直写系统中引入检焦光路,与直写光路共享同一物镜,构建Linnik型同步相移显微干涉检焦系统,提取包含离焦量的波面相位信息;再从大数值孔径(NA)的物镜波像差数据中解析出离焦量的大小与方向。仿真结果验证了基于波像差判据的离焦计算方法的正确性,NA≥0.5时,离焦探测灵敏度可达4 nm,通过实验验证了同步相移显微干涉检焦方法的可行性,检焦精度可达10 n
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划(2019YFB2005500),中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室开放基金(KLOMT190201),江苏省六大人才高峰项目(RJFW-019)。
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为了实时准确地将激光直写系统中经直写物镜聚焦的光斑定位于待加工元件表面,提出了一种基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法,实现了对离焦量的实时检测与调整。在直写系统中引入检焦光路,与直写光路共享同一物镜,构建Linnik型同步相移显微干涉检焦系统,提取包含离焦量的波面相位信息;再从大数值孔径(NA)的物镜波像差数据中解析出离焦量的大小与方向。仿真结果验证了基于波像差判据的离焦计算方法的正确性,NA≥0.5时,离焦探测灵敏度可达4 nm,通过实验验证了同步相移显微干涉检焦方法的可行性,检焦精度可达10 n
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