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在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属钛层，用含铁杂质的氧化硅对钛层进行抛光，通过微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法在不同的温度下短时间里制备出CNT膜。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱，X射线衍射，分析了薄膜的结构和表面形貌。仔细研究不同温度下制备的CNT膜，得出衬底温度400℃时制备的碳膜是以非晶碳为主，600℃时置备的碳膜是良好的碳纳米管膜，800℃制备的碳纳米管膜的缺陷变得很多，以碳纳米链为主。最后得出了温度对催化活性有很大影响的结论。