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基于二氧化钒薄膜在约68℃半导体和金属间的可逆相变，通过控制温度来实现高透过率到高反射率的转换，实现对光的调制作用．通过表面微机械低热质单元来实现隔热，保证各单元在无串扰的情况下具有独立的开关功能．在工作过程中，单元的温度通过单元上的集成电阻或空间寻址热辐射源来控制．采用微机械工艺成功制备出32×32二氧化钒热光效应光调制器阵列，该热光效应调制器由于没有可移动的部件，其最大的优点就是高可靠性和低制造成本．