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根据微细加工的实时性、精度要求。提出压电器件的分段控制方法及其两轴联动的嵌入式控制系统结构。根据误差将压电器件控制分为恒电压控制与误差控制两个阶段，恒电压控制段采用迟滞特性主环的平均曲线估算恒值控制电压，误差控制段利用积分控制，研制了基于ARMCortex处理器的两轴联动微细加工用压电平台控制系统。测试表明：阶跃响应稳态误差〈0．1μm，调节时间约1．2ms，超调量约5．6％；正弦响应误差-0．343～0．245μm；轮廓稳态误差-0．084—0．079μm，考虑系统超调，轮廓误差-0．41～0．131μ