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1概述利用气相沉积法在玻璃表面镀Si膜,是一项比较成熟的在线镀膜技术.技术的核心在于还原气氛下SiH4在玻璃表面热解,经过一系列物理、化学过程,为玻璃镀一层均匀的Si膜.
我厂在线镀膜玻璃划伤产生的原因及解决办法
【摘 要】
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1概述利用气相沉积法在玻璃表面镀Si膜,是一项比较成熟的在线镀膜技术.技术的核心在于还原气氛下SiH4在玻璃表面热解,经过一系列物理、化学过程,为玻璃镀一层均匀的Si膜.
【机 构】
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中国耀华玻璃集团公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2004年4期
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